射频离子源

产品特点
    采用射频放电，无灯丝，寿命长，减少维护，可长时间稳定工作；单电荷离子，几乎没有对屏栅的溅射，消除栅网污染问题，且离子能量及束流可宽范围内精确控制；更广泛的工艺气体，一些特殊的高性能光学薄膜(附着力、折射率、硬度、低吸收和低漂移等)只能用射频宽束离子源进行离子束辅助沉积工艺来完成；栅网采用异形钼网，允许聚束或发散；尺寸小，适合紧凑空间，通常采用法兰安装，也可根据需求进行定制。