产品介绍
离子源是采用离子技术辅助镀膜、刻蚀等高端设备的重要部件,其中栅网是离子源中直接影响均匀性和致密性的重要易耗性配件,它决定了带电离子的密度、运动方向、加速度等,直接影响相应工序的产品质量。
产品特点
我公司生产离子源(Ion source)栅极组件主要应用于离子刻蚀/沉积设备(IBE/IBD),栅网为三片一套的钼栅极(Mo Grid),依次分别为Beam Grid、Suppressor Grid、Ground Grid,经过专业特殊的表面加工及精密钻孔加工。为了保证离子束的均匀性,通过精确测量和高精度数值模拟相结合,在栅网精确开孔、角度分布等方面开展技术攻关,保证了离子束的均匀性。另外为了保证产品的稳定性和耐用性,我司精选高档进口原材料,加工中经过超高温等独有应力成型技术处理,经过多道抛光定型喷砂完成,经久耐用。
竞争优势
1.高档进口材料99.9999%以上
2.专业特殊的加工工艺及超高温等独有的应力成型技术处理;
3.行业资深专家团队,品质有保障
4.优质的产品,安心的服务
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