ALE设备

江苏鹏举半导体全自主研发的原子层刻蚀设备（ALE），具有成熟的真空解决方案及射频系统，基于Windows平台自主开发的操作系统，架构合理，人机交互界面多种自动流程设计，操作简单便捷。设备具有占用空间小，耗材及运营成本低等优点。此腔体扩展性高，兼容性高，可用于多种材质，多种介质刻蚀，可媲美国际先进水平，实现国产替代。