PEALD设备

1.成膜均匀性小于1%；
2. LOADLOCK 样品传输系统；
3.独特的进气设计，快速阀门相应（<10ms）,精确控制每个循环中的进源量，有效避免反应源的损失；
4.反应Gas line采用全包裹加热式，对气线进行差异式控温方式进行加热，管路加热均匀；
5. ICP 远程感应耦合等离子体系统；
6.原装进口 1000W 射频电源；
7.高性能真空系统（含进口干泵+分子泵）。