真空腔体

产品介绍

真空腔体（Vacuum chamber）是真空系统的核心，更是决定真空设备性能好坏的关键。我司的真空腔体可以针对客户的具体应用定制加工，主要应用于IBE、IBD、ALD 、ALE 、PECVD等。
常用的材料有不锈钢、铝合金、碳钢等，涉及的表面处理有焊接、喷砂、抛光、电解抛光、阳极氧化等，另外也可以依照客户的需求进行热处理应力消除或是振动应力消除等，为客户提供更完整的真空制程解决方案。