产品介绍
磁流体密封装置是由不导磁座、轴承、磁极、永久磁铁、导磁轴、磁流体组成,在均匀稳定磁场的作用下,使磁流体充满于设定的空间内,建立起多级“O型密封圈”,从而达到密封的效果;每级密封圈一般可以承受大于0.15~0.2个大气压的压差。总承压为各级压差之和,一般设计为2.5个大气压,完全满足真空密封的需要。我司生产磁流体密封装置有多种安装结构,也可根据客户的特殊要求制造。
如今,我们的产品广泛应用于晶体生长、离子刻蚀、液晶再生、化学气相淀积、真空镀膜、真空反应釜等设备上。在一些特殊领域,如:超高速动密封装置,超高压(极限压力:14Mpa)动密封装置等环境得到了有效的应用。
主要优点及应用
长寿命:无磨损,具有极佳的工作可靠性。
高性能:极限真空度10-6 Pa,泄漏率10-12 Pa.m3/sec。
高适应性:从低速到高速,从低压到高压,从室温到高温,均能满足各种设备的要求。
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