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江苏鹏举半导体设备技术有限公司
江苏鹏举半导体设备技术有限公司由江苏省产业技术研究院,南通创新区和海归团队共同投资成立。是一家专注于半导体关键组件及特种工艺设备的高新技术公司,集设计、研发、制造、销售及工艺技术支持服务于一体的综合解决方案供应商。
公司集聚国内外半导体领域技术专家,来自清华大学,美国Bell Lab贝尔实验室,英特尔,海力士等资深半导体人士领衔,自主研发生产国内半导体产业所需的“卡脖子”关键组件及工艺设备。目前主要产品包括高真空管路、腔室设计;栅网;离子源;研发型、产业化型原子层沉积(ALD);研发型原子层刻蚀(ALE);HF,XeF刻蚀机/离子束刻蚀IBE/沉积设备IBD等,广泛应用于IC 芯片、MEMS、LED、光通信、强激光、深紫外、磁存储等器件的生产。
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